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暂无图片 上海交通大学先进电子制造中心
    上海交通大学先进电子制造中心是专门从事集成电路制造装备与工艺的研究中心,主要集中在大规模集成电路制造装备中的共性关键技术,具体包括:大尺度运动,大惯量负载作用下的纳米与亚纳米分辨率和精度的精密定位技术,高真空环境下的精密操纵及定位技术,高加速度,高速度运动下的亚微米级的定位精度的精度定位技术,
联系人:邓 柳
电  话:021—34207143
地  址:上海市闵行区东川路800号先进制造楼
邮  编:200240